台積電啟動竹科再生水廠專案 2025年供水

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台積電南科再生水廠已於9月正式通水。(圖:台積電ESG官網)

udn聯合新聞網
中央社/ 台北31日電

台積電今年啟動科再生水廠專案,預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸,導入2奈米製程廠區,並配合市政再生水供應。

台積電在今天新出爐的ESG電子報中表示,台積電致力推動水資源永續管理,積極落實製程節水與廢水分流,廠區水回收已達一滴水使用3.5次的成效。

為更精進用水效率,台積電投入再生水技術發展,攜手政府單位,開發符合自來水供水標準的民生廢水再生流程及工業廢水回收技術,並與中鼎集團合作,打造全球首座工業再生水回用至半導體製程的再生水廠。

今年9月,台積電科再生水廠完工並正式通水,年底前每日可供應1萬公噸工業再生水,朝多元水資源循環再生的永續目標邁進。

台積電南科再生水廠是台積電科廠區再生水製造、偵測與供應中心,除回收南部科學園區污水廠放流水以產製工業再生水外,並於永康及安平污水廠市政再生水進入廠區前把關水質。

台積電指出,目前還投入研發以廢熱進行濃縮廢水回收與污泥資源化技術,避免濃排廢水外流,進一步降低環境衝擊,預計2026年科再生水廠產能將提升至每日供水3萬6000公噸,持續降低自來水用量需求並友善環境。

台積電表示,拓展多元水資源為水管理永續發展的重要策略,台積電將持續擴大再生水應用範圍,今年已啟動竹科再生水廠專案,預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸,導入2奈米製程廠區並配合市政再生水供應。

台積電指出,未來將達成科新建廠區100%使用再生水,目標於2030年台灣廠區再生水替代率達60%以上,提高組織營運韌性,實踐水循環永續行動。

針對工業普遍使用的化學品NMP,台積電將其作為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑,為降低人員暴露與環境污染風險,台積電超越法規要求,於2016年自主推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計畫」,7奈米(含)以下先進製程完全排除使用NMP,既有廠區則陸續進行替代作業,並訂定2030年台灣廠區達成100%NMP替代的目標。

面對日益嚴峻的極端氣候,台積電積極創造更多節水省電機會點,2021年針對晶圓傳送盒清洗機台研發漸進式開關水閥,藉由自動控制熱水輸出多寡,於機台未運作時減少50%供水量,達到年省38萬公噸純水與1533萬度電。

為更優化熱水使用效率,台積電智能工程中心、晶圓12B廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參數,進一步設計熱水封閉迴路,透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門,在確保水溫穩定的前提下,利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用,達到100%回收效益。

熱水回收循環系統已列為台積電12吋晶圓廠區未來新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備,目標至2030年可年省140萬公噸純水及1億1000萬度電。

因應疫情對全球供應鏈帶來的挑戰,台積電積極導入數位轉型技術至稽核作業,成功開發「虛擬稽核」技術,在減少跨境人員流動的同時,仍能進行產品正式量產前的稽核程序,順利支援客戶的生產計畫

台積電指出,截至今年10月,已完成39場線上虛擬稽核並全數通過客戶認證,創造雙贏的夥伴關係。

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